Инженеры Техасского университета в Остине создали настольное устройство для экстремальной ультрафиолетовой литографии и объединили его с новой технологией 3D-печати, которая сокращает время обработки наноструктур полупроводников с дней до минут, согласно исследованию, опубликованному в Nano Letters.

Стандартные машины для EUV-литографии стоят более 200 миллионов долларов и занимают целую комнату, что делает коммерческое производство полупроводников недоступным для большинства исследовательских институтов. Команда Cockrell School упростила традиционный принтер до основных компонентов, создав модульную, более дешевую систему, которая помещается на столе. Это значительный сдвиг для академических исследователей, которые не имеют доступа к оборудованию промышленного масштаба.

Continue reading →